ビーム診断装置

Beam Diagnostics

ビーム位置検出用４チャンネルディテクタ QUAD シリーズ登場（2011年8月）

Gentec-EO 社では、カメラベースデバイスまたはスキャニングシステムのビーム診断装置を製造しています。紫外から赤外までの広い波長領域をカバーし、また自動 M² 測定が可能です。システムへの組込みをサポートするアクセサリも多数ご用意しています。

Model	Profile	Align- ment	M2	Scan	Knife Edge	CCD	Laser CW	Laser Pulsed （kHz）	Reso- lution （μm）	Max. Image Size （mm）
Beamage	X-Y		Option			○	○	< 20	1	8.8 x 6.6
Beamage Focus	X-Y					○	○	< 20	1.6	20 x 15
Beam'R2	X-Y			○			○	> 100	0.5	6 x 5
BeamMap2	X-Y-Z- θ-φ	○	Real Time	○	○		○	> 100	0.5	6 x 5
BeamScope-P8	X-Y		Option	○			○	> 10	0.1	40 x 23
QUAD-E	position sensing
QUAD-P	position sensing

＊仕様は予告なく変更になる場合がございます。

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Copyright（c） Gentec Electro-Optics, Inc., 2011